1. go
go
的作用是启动或者切换仿真器,仿真器可以是athena
, atlas
, Ssuprem3
等等。
go <simulator> [simflags=<simulator>]
-
simulator
是仿真器的名字 -
simflags
用来指定仿真参数和程序版本
例子:
-
启动器件仿真器
atlas
go atlas
-
启动器件仿真器,并指定版本
go atlas simflags="-V 5.0.8.R"
2. set
set
用于设定DeckBuild的全局变量或者设置Tonyplot的显示方式,显示方式可以保存在*.set中,这样在显示时可以直接调用。
set <varialbe>=[<value>|<expr>] [nominal]
variable
表示任意变量,可以被赋予数值和表达式,在后续语句中,如果需要使用该变量,在变量名前加$
即可,例如:
set temp=1000
set gaspress=1
diffuse time=30 temp=$temp press=$gasress
set
用于按照设置文件进行显示的设置:
tonyplot structure.str -set show.set
.set
文件要放在工作目录下,不然程序查找不到。
3. tonyplot
tonyplot
用于绘图和显示
4. extract
extract
用于提取仿真结果,例如工艺仿真结果中的材料厚度、结深、方块电阻等,或者器件仿真的阈值电压、电流放大倍数等等。