CD critical dimension 关键尺寸
SEM
扫描式电子显微镜（scanning electron microscope），简称扫描电镜（SEM）。是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，鉴定样品的表面结构。
常见的CD 量测分类
根据量测机器种类有
OCD：optic CD 光学机器，也称scatter
SEM-CD
根据工艺分类有
ADI-CD 显影后CD
ACI-CD 刻蚀清洗后CD
…………
CD 的一些干货
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