压电陶瓷应变 0.2%
响应速度:us级别
压电堆栈:分立式、共烧式
压电陶瓷堆栈:迟滞最大15%,通过闭环控制解决(PID)。
传感器:应变片(低成本)、光栅尺、电容传感器。
应用:压电主动减震基座、纳米位移台、
驱动方式:静态驱动(线性调整、低频、位置)、动态驱动(快反镜、点胶阀、高频率)。
机械放大机构:压电双晶片
压电陶瓷应变 0.2%
响应速度:us级别
压电堆栈:分立式、共烧式
压电陶瓷堆栈:迟滞最大15%,通过闭环控制解决(PID)。
传感器:应变片(低成本)、光栅尺、电容传感器。
应用:压电主动减震基座、纳米位移台、
驱动方式:静态驱动(线性调整、低频、位置)、动态驱动(快反镜、点胶阀、高频率)。
机械放大机构:压电双晶片